微量氧分析儀的校準一般有兩種。露點儀直接測出露點溫度的儀器。使一個鏡面處在樣品濕空氣中降溫，直到鏡面上隱現露滴的瞬間，測出鏡面平均溫度，即為露點溫度。露點分析儀它測濕精度高，
但需光潔度很高的鏡面，精度很高的溫控系統，以及靈敏度很高的露滴（冰晶）的光學探測系統。使用時必須使吸入樣本空氣的管道保持清潔，否則管道內的雜質將吸收或放出水分造成測量誤差。
1、瓶裝設計規范氣校準：
不要選擇零點氣體和量程氣體校準儀零點和量程，零點氣體多選擇高純氮氣，其含氧量小于0.5 ppm，(測量誤差太大，可能超過，不
使用)。露點分析儀它測濕精度高，但需光潔度很高的鏡面，精度很高的溫控系統，以及靈敏度很高的露滴（冰晶）的光學探測系統。使用時必須使吸入樣本空氣的管道保持清潔，
否則管道內的雜質將吸收或放出水分造成測量誤差。鋼瓶內不能含有微量氧的范圍氣體，因為它容易產生吸附作用或氧化反應，使氧含量發生變化。*好使用內涂層處理的鋁合金氣缸。
現用現配較好，有用期一年為限也能夠，不宜進行持久數據寄存。
我們在野外經常選擇單點量程校準，效果往往比零點校準好，這是因為用的是零氣不能，而不是方法不好。
現場在零點無法得到妥善保障的情況下，主張放棄零點核查。
2. 電解氧氣法校正:
電解配氧法是制備氧標準氣體的一種簡單而常用的方法。有些分析儀有附件和裝置，可以方便地校準分析儀。該方法簡單可靠，性能較好高的準確度。
