在線分析儀表的性能指標含義廣泛，但大體上可以分成兩類。

一類性能指標與儀器的工作范圍和工作條件有關。工作范圍主要是指測量對象、測量范圍等；工作條件包括環境條件、樣品條件、供電供氣要求，儀表的防爆性能和防護等級等。

另一類性能指標與儀器的分析信號，即儀器的響應值有關。這類指標主要有靈敏度、檢出限、重復性、準確度、分辨率、穩定性、線性范圍、響應時間等。

檢出限（limit of detection）——是指能產生一個確證在樣品中存在被測物質的分析信號所需的該物質的最小含量或最小濃度，是表征和評價分儀器檢測能力的基本指標。

重復性(repeatability)——又稱重復性誤差。重復性誤差是指儀器在操作條件不變的情況下，多次分析結果之間的偏差。

精密度——是指多次重復測定同一量時各次測定值之間彼此相符合的程度，表示測定過程中隨機誤差的大小，一般用標準偏差表征。

儀器的準確度（accuracy）——是指在一定測量條件下，多次測定的平均值與真值相符合的程度，表示儀器的指示值接近真值的能力。儀器的準確度有稱精確度，簡稱精度。

分辨率(resolution)——又稱分辨力或分辨能力，是指儀器能區分開最鄰近示量值的能力。

穩定性——是指在規定的工作條件下，儀器保持其計量特性不變的能力。分析儀器的穩定性，主要是指分析儀器響應值隨時間的變化特性。穩定性可用噪聲和漂移來表征。

線性范圍——是指校正曲線所跨越的最大線性區間，用來表示對被測組分含量或濃度的適應性。儀器的線性范圍越寬越好。

線性度——又稱線性度誤差或非線性誤差，一般是指儀表的輸出曲線與相應直線之間的最大偏差，用該偏差與儀器量程的百分數表示。